X熒光元素分析儀的原理主要基于：原子受到X射線的作用，其內(nèi)層電子被激發(fā)，形成空穴，原子處于不穩(wěn)定的激發(fā)態(tài)。為了回到穩(wěn)態(tài)，原子的外層電子會(huì)躍遷回內(nèi)層，多余的能量以熒光形式釋放出來(lái)，被偵測(cè)器檢測(cè)到，通過(guò)此來(lái)做分析。通常，可以將X射線熒光光譜分析儀可分為波長(zhǎng)色散性和能量色散性。

X熒光元素分析儀的共元素干擾情況：

    在日常的分析工作中，XRF這種分析方法經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)共元素干擾。這種共元素干擾的問(wèn)題主要起源于X熒光射線偵測(cè)器對(duì)于X熒光射線的分辨率的限制所致，只要是XRF都會(huì)遭遇到相同的問(wèn)題。共元素干擾主要分為三類：兩相近共元素干擾、加乘波峰、逃離波峰。

    （1）兩相近共元素干擾：由于兩元素在能譜圖上的位置相近，以至于偵測(cè)器無(wú)法分別出兩者之間的差距。如鉛(La10.55Kev)、砷(Ka10.54Kev)。

    （2）加乘波峰：由于某元素的濃度異常高，此時(shí)發(fā)出大量X熒光射線，而偵測(cè)器無(wú)法及時(shí)處理，將在能譜兩倍的位置上出現(xiàn)一根波峰。如大量的鐵(Ka6.4Kev)，會(huì)在能譜12.8Kev處出一根小波峰。造成誤判。但此種情形極為少見。

    （3）逃離波峰：由于某元素的濃度異常高，此時(shí)發(fā)出大量X熒光射線，而偵測(cè)器無(wú)法及時(shí)處理，將在此元素的能譜位 置前一個(gè)硅Ka的能譜距離多出一根小波峰而造成誤判，但情形極少出現(xiàn)。如錫(Ka25.27Kev)-硅(Ka1.74Kev)=23.53Kev≈鎘(Ka23.17 Kev)。